设备基本信息

型号：EVO LS 18

生产厂家：英国卡尔•蔡司公司

联系人：李秀娟 13504314217

设备性能及适用范围

该设备主要用于油页岩储油土层地质切片及其钻具表面微观形貌观察分析。

设备技术参数

光学系统：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能；具有手动及自动聚焦功能；加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调；图像电平移：±50µm；放大倍数：5×-1000,000×，连续可调；分辨率：高真空二次电子像＜3.0nm（30kV）；低真空背散射电子像＜4.0nm（30kV）；探针电流范围：0.5 pA-5μA，连续可调；聚焦工作距离：2mm~145mm；电子束气体路径长度：＜2mm。

真空系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水；最高真空度：优于0.1mPa；低真空压力范围：10Pa-400Pa；超低真空压力范围：400Pa-3000Pa；在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。

样品系统：室内部尺寸：365mm (直径) x 275mm（高）；最大允许样品重量：不小于5kg；样品台移动方式：全自动五轴马达驱动；样品台移动范围：X轴125mm, Y轴125mm, Z轴50mm,0°- +90°倾斜，360°旋转；样品台移动精度：重复性<2 µm；最小步长90nm；漂移<40nm/6min。；样品台具有接触报警与自动停止功能；具备样品位置感知功能；ccd红外摄像头。

探测器系统：具备高真空二次电子探测器；具备低真空二次电子探测器；具备超低真空二次电子探测器；具备背散射电子探测器；具备X射线能谱仪接口；探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像；扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿；整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便；图像解析度：3072x 2304 扫描点阵。